●高纯度●高强度●高硬度●高耐磨性●耐高温●高耐腐蚀、●抗热抗震性好●自润滑好●导热系数大以及抗氧化性高等优越性能●重量轻●无静电
摇臂采用碳化硅高纯粉末＞99.9%，通过等静压成型，无压烧结，制品密度＞3.15g/cm3不含金属硅等金属杂质。根据客户设计制作各种型式规格，质量稳定，交期可靠，最高使用温度可达1800°C，使用周期长，质量轻振动幅度小，表面易清洁等
1. 高纯碳化硅粉
2. 开模具加工：干压成型、CIM注射成形、等静压成型。
3. 外型加工：平面研磨、外径／内径研磨、精雕机加工、研磨、抛光研磨。
●半导体产业●LED光电产业●太阳能等产业●扩散制程用之晶圆载具●自动化设备等
| 基础特性 | 主要成分纯度(wt%) | 99 | |
| 颜色 | 黑色 | ||
| 密度(g/cm³) | 3.16 | ||
| 吸水性(%) | 0 | ||
| 机械特性 | 弹性模量GPa | 450 | |
| 抗压强度MPa | 224 | ||
| 抗弯强度(MPa) | 400 | ||
| 泊松比 | 0.14 | ||
| 维氏硬度(GPa) | 30 | ||
| 热特性 | 最热作业温度(℃) | 1600 | |
| 热膨胀系数(1/℃×10-6) | RT~500℃ | 3.9 | |
| RT~800℃ | 4.3 | ||
| 导热系数(W/m x K) | 40 | ||
| 热震抗性△T(℃) | 300 | ||
| 电特性 | 体积电阻率 | 25℃ | 3x10的6次方 |
| 介电常数 | 10GHz | ||
根据产品
应用要求
设计研发
优化方案
严密精
准出图
严格挑
选原料
多种成型
烧结成坯
研磨抛光
精密加工
多种检具
专业测量
合格产品
包装出货
